报告题目：称量分子的工具—MEMS谐振式微悬臂梁传感器
报 告 人：于海涛，研究员
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
报告时间：2019年4月3日下午13:15-14:50
报告地点：材料楼210会议室
报告摘要：
近年来，我国在食品安全、生产安全等公共安全领域重大事件频发，成为影响人们生活和社会安定的重要因素。究其原因，主要是缺乏有效的监控手段，使得公共安全问题只能由重大事件爆发或行内人员“爆料”式发现，此时往往已经造成了重大危害。如何建立主动有效的监控预警机制是从根本上解决这类公共安全问题的当务之急，但目前有害物的检测往往需要在实验室进行复杂的操作，检测效率低、覆盖面窄并且速度慢。具有现场检测能力、灵敏、快速、便携和易操作的生化传感器是实现公共安全有效监测和防控的重要途径。谐振式悬臂梁生化传感器正是一种具备以上优点的传感器，除此以外，其还具有与IC兼容、可批量制造、低成本等特点，具有巨大的市场潜力。本报告将介绍课题组在谐振式微纳悬臂梁生化传感器方面的研究成果，包括其原理、设计、工艺制造以及目前取得的应用成果。
报告人简介：
于海涛，1981年出生，男，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、博士。2004年毕业于北京大学物理学系，获得物理学学士学位；2009年毕业于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，获微电子学与固态电子学专业博士学位；2009年至今在中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室工作；2016年入选中国科学院青年创新促进会；2019年起任研究员。在Journal of Materials Chemistry A、Analytical Chemistry、IEEE Transactions on Industrial Electronics、Small、Lab on a Chip等SCI期刊上发表论文30余篇，H指数为15；在领域顶级国际会议发表会议报告20余篇；获得授权发明专利15项。长期从事基于MEMS谐振悬臂梁技术的生化传感器研究，研制出集成微悬臂梁生化分子痕量现场检测传感平台。以此传感平台为工具，制备了多种生化传感器，系列传感器可以实现对沙林毒气、肝癌抗原、TNT爆炸物、CO2、氨气等的痕量快速检测，检测下限可达ppb量级甚至ppt量级，为国际领先或先进的痕量检测水平。其中多款传感器获得了应用，并得到产业化。