报告题目:MEMS气体传感器的材料设计与敏感机理
报 告 人:徐甲强教授(上海大学)
报告时间:2021年4月29日下午,15:05-16:40
报告地点:一教246
报告摘要:
气体传感器在环境监测、安全保障和健康诊疗领域有着不可替代和日益重要的应用,为了满足人工智能、物联网、可穿戴器件以及精准医疗领域对气体传感器日益增长的市场需求,迫切需要大量的低功耗、小型化和智能化的气敏材料和器件。同时对敏感材料与器件都提出了更高的要求。本报告首先介绍气体传感器的概念、分类和气敏机理,其次介绍课题组在气体传感器材料设计和敏感机理研究方面取得的研究进展;最后重点介绍MEMS气体传感器的制备工艺、研究现状、工作进展及其应用。
报告人简介:
徐甲强 (男) ,上海大学理学院教授,博士生导师,理学院副院长。曾任中国电子学会全国气湿敏传感技术专业委员会主任委员、现任中国智能传感器联盟理事、中国仪器仪表学会传感器分会常务理事。“金属氧化物气敏材料的微结构设计、可控制备及其增敏机理研究”获2015年上海市自然科学二等奖;“碳纤维自行车整体车架研制开发”、“催化剂在半导体气敏材料中的应用”和“氧化锡气敏粉体的制备及其应用研究”等5项成果分别获河南省科技进步二等奖和三等奖。
长期从事纳米结构材料的设计、制备及其在能源材料与器件、微纳智能传感器等领域的研究工作。拥有发明专利25项,发表SCI论文300篇。现主持国家重点研发计划项目课题1项,晶圆级气敏薄膜制备与热学特性测试;国家自然科学基金1项,PdM双金属纳米晶的可控合成及其对金属氧化物气敏材料的多重增敏机理研究;副主持1项国家自然科学基金重大仪器专项课题“基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置;总顾问1项国家自然科学基金重点项目“煤矿瓦斯检测用新型氧化物半导体气敏材料构筑及性能调控”;承担2017年国家重点研发计划新能源汽车燃料电池和超级电容器项目2项。